Equip bàsic de la línia de producció automatitzada de neteja de relacions públiques per a fabricants de pantalles LCD
La línia de producció automatitzada de neteja de PR (photoresist) és un equip bàsic de procés humit en la fabricació de pantalles LCD. S'utilitza principalment després del procés de fotolitografia al substrat de la matriu per eliminar completament la fotoresistència residual, els residus de gravat i els micro-contaminants superficials. És un equip crucial per garantir la precisió del circuit del panell i millorar el rendiment del producte. Perfectament adequat per a l'entorn de producció estricte d'una sala neta de classe 100, aconsegueix operacions de neteja de bucle tancat-d'alta-precisió, automatitzada i-sense contaminació-.
Apuntant als residus de fotoresistents positius i negatius després del procés de fotolitografia, utilitza un procés de neteja ultrasònica de diverses-etapes + un procés d'esbandida de desbordament d'aigua pura per eliminar profundament els residus, els contaminants orgànics, les partícules de pols i altres impureses que queden després del gravat amb fotolitografia. Pot eliminar a fons els residus microscòpics per sota de 0,5 μm, evitant defectes com ara circuits oberts del panell, punts brillants i punts de Mura causats per impureses. Combinat amb un sistema de filtració de-precisió de 0,1 μm d'alta, evita la contaminació secundària. Aconsegueix una eliminació completa i sense danys-, evitant l'impacte de les capes adhesives residuals en els processos de gravat i recobriment posteriors, amb una taxa de cobertura d'eliminació del 100%.
El mòdul de control electrostàtic d'ESD integrat-controla estrictament el valor electrostàtic dins de l'interval d'Inferior o igual a ±100 V. Combinat amb el material anti-estàtic de la cavitat i la tecnologia de lliurament de rodes magnètiques sense-contacte, evita que les descàrregues electrostàtiques danyin els circuits de precisió del panell, alhora que evita que es produeixin esgarrapades, estellades i la generació de pols per fricció al substrat de vidre, maximitzant així la protecció de la integritat del substrat.
Cambra de prova de temperatura constant d'alta i baixa temperatura
El nucli de l'equip de línia de producció automatitzada de neteja i assecat per als fabricants de pantalles LCD integra un mode d'assecat dual: tall amb ganivet d'aire i assecat amb aire calent a -temperatura constant. Això elimina ràpidament les taques d'aigua de la superfície del substrat, aconseguint un assecat-sense traça i-filigrana. Després de l'assecat, el contingut d'humitat de la superfície del substrat s'acosta a zero, permetent la transferència directa al següent procés sense processament secundari, garantint la continuïtat del procés. Un sistema de control PLC permet operacions de llaç-tancat totalment automatitzades de càrrega, posicionament, neteja i descàrrega. Admet funcions d'alarma i monitorització-en temps real per a l'ajust de la concentració de la solució de neteja, la temperatura, la humitat i la neteja. La cambra segellada i el disseny de pressió negativa en gradient eviten les fuites de gasos químics. Combinat amb l'entorn de pressió positiva d'una sala neta de classe 100, també permet el reciclatge d'aigua ultrapura i la classificació i recuperació de líquids residuals, complint tant els requisits d'estalvi-energètic com de protecció del medi ambient.
En comparació amb la neteja manual tradicional, les línies de producció de neteja de PR totalment automatitzades tenen avantatges insubstituïbles: l'eficiència de la neteja augmenta més de 3 vegades i es poden processar prop de 10.000 substrats de vidre per torn, escurçant significativament el cicle del procés; la consistència de neteja és excel·lent, eliminant a fons els micro-residus inferiors a 0,5 μm, controlant la taxa de defectes del panell fins a 0,5 PPM, evitant de manera efectiva defectes com ara punts brillants, punts foscos i interrupcions de circuit a la pantalla; l'equip adopta un disseny d'estalvi d'aigua-i estalvi d'energia-, amb una alta taxa de recuperació d'aigua pura i recollida i tractament d'aigües residuals classificades, complint els requisits de producció de protecció del medi ambient; tota la màquina està feta de PVC resistent a la corrosió-i acer inoxidable SUS304, amb un segellat fort, fàcil neteja i manteniment, i és adequada per a un funcionament continu de 24-hores en sales blanques, convertint-se en equip estàndard per als fabricants de pantalles LCD per construir línies de productes d'alta gamma i millorar la competitivitat bàsica.
Equip bàsic al taller de fotolitografia dels fabricants de pantalles LCD
L'equip d'exposició és l'equip bàsic del taller de fotolitografia i una àrea de procés clau en el procés de fabricació de matrius LCD. També coneguda com a màquina de litografia de panells, és un dispositiu òptic de procés humit d'alta-precisió. La seva funció principal és transferir el patró de disseny del circuit del substrat a un substrat de vidre recobert de fotoresist mitjançant l'exposició òptica, que és crucial per a la formació de micro-circuits al panell. La transferència precisa del patró del circuit de la fotomàscara al substrat de vidre és el requisit previ per als processos posteriors de gravat, recobriment i neteja de PR, determinant directament la qualitat de la pantalla. L'equip utilitza un procés d'exposició sense -contacte, adequat per a substrats de vidre LCD prims i de gran-mida, evitant rascades, danys i contaminació del substrat.
Els aspectes tecnològics principals inclouen un sistema d'alineació d'alta{0}}precisió amb una precisió de superposició de nivell de micres-o fins i tot de sub-micra-, que garanteix zero desalineació en l'apilament de circuits multi-capes amb errors controlats fins a unes poques mil·lèsimes del diàmetre d'un cabell; l'ús d'una font de llum d'exposició uniforme i una tecnologia d'enfocament dinàmic per aconseguir fluctuacions d'energia d'exposició<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Tot el taller utilitza una font de llum groga monocromàtica de 589 nm, que filtra completament la llum-de curta longitud d'ona, com ara la llum ultraviolada, blava i blanca, evitant que aquests raigs desencadenin prematurament reaccions fotoquímiques a la fotoresist, provocant defectes fatals com ara desalineació del patró, línies incompletes, curtcircuits i circuits oberts. El sistema d'il·luminació utilitza una combinació de LED grocs dedicats i filtres de doble-capa per evitar fuites de llum dispersa; les portes, finestres i finestres d'observació estan equipades amb materials filtrants anti-ultraviolats; Els telèfons mòbils, les càmeres, les llanternes de gran-potència i altres fonts de llum externes estan estrictament prohibides dins del taller, i s'implementa un control de disciplina de la llum-de l'àrea completa per eliminar el risc d'exposició prematura del material fotoresistent des de la font.
Introducció a les sales netes de classe 100 per a fabricants de pantalles LCD
En el camp de la fabricació de LCD d'alta-precisió, les sales netes de classe 100 (sales netes de classe 5 ISO) són la principal instal·lació de producció i un indicador clau de la força tècnica i el rendiment del producte d'un fabricant. S'utilitzen àmpliament en les etapes bàsiques del procés, com ara matriu, muntatge de cèl·lules i embalatge de mòduls per empreses líders de visualització com BOE, TCL CSOT, HKC i Tianma. Aquestes sales netes tenen estàndards de neteja estrictes, amb no més de 100 partícules de pols en suspensió superiors o iguals a 0,5 μm de diàmetre per peu cúbic d'aire (menys o igual a 3520 per metre cúbic). Aquest nivell de neteja supera amb escreix el dels quiròfans mèdics, i serveix com a "barrera incondicional" per evitar que la pols, l'electricitat estàtica i els contaminants químics interfereixin amb els processos de precisió. És un component de maquinari bàsic que determina directament la qualitat d'imatge, la vida útil i la taxa de rendiment de la pantalla.
El taller està dissenyat i construït estrictament d'acord amb les normes nacionals i internacionals ISO. Adopta un mode de flux d'aire unidireccional vertical, juntament amb un sistema de filtració ULPA de quatre-etapes (pre-filtre, filtre d'eficiència mitjana-, filtre d'alta-eficàcia i filtre d'eficiència ultra{{-alta{-), aconseguint una eficiència de filtració de fins a 9999999999999999999999. i eliminant les zones mortes del flux d'aire. Simultàniament, s'aconsegueix un control ambiental precís en totes les dimensions: una temperatura constant de 23±1 graus, una humitat relativa controlada al 45%-55%, un estat de pressió positiva que es manté a la zona neta i una diferència de pressió superior o igual a 10Pa entre zones adjacents, evitant completament la infiltració de pols externa; tenint en compte la susceptibilitat dels panells de visualització a danys electrostàtics, s'utilitzen terres autonivellants epoxi anti-estàtics, i s'utilitzen plaques d'acer inoxidable 304 i acer de color per a sala blanca per a parets i sostres, amb un control estricte dels valors d'electricitat estàtica durant tot el procés; Es proporciona un control addicional per als contaminants químics-COV a nivell molecular i les interferències latents, com ara les microvibracions, que compleixen els requisits de processos a nanoescala com ara la fotolitografia, la deposició de pel·lícula fina i la injecció de cristall líquid.
El taller adopta un disseny de zonificació de sales netes per nivells, dividit en una àrea bàsica de classe 100, una àrea d'amortiment de classe 1000 i una àrea auxiliar de classe 10.000, amb capes que eviten la contaminació creuada, i les línies de transport de material automatitzats i de personal estan completament separades. El personal s'ha de sotmetre a un triple procés de canvi de roba, dutxa d'aire i detecció electrostàtica, i només pot entrar després de portar un vestit de sala neta-de cos sencer, guants sense pols-i ulleres protectores; els materials es transfereixen a través de finestres de transferència entrellaçades i se sotmeten a un tractament d'eliminació de pols i electricitat estàtica; l'interior està equipat amb campanes de flux laminar FFU, comptadors de partícules en línia, sensors de temperatura i humitat, monitors de pressió diferencial i altres equips per aconseguir un seguiment en temps real de 24-hores i traçabilitat de dades, i immediatament emetrà advertències i farà ajustaments en cas d'indicadors anormals per garantir una estabilitat ambiental contínua.
